组合倍率极紫外光刻物镜梯度膜设计

• 作者: 刘丽辉 刘克 刘岩 姜家华 李艳秋 沈诗欢
• 来源期刊: 光学学报
• 学科: 工学
• 关键词: 光学设计 多层膜 反射系统 极紫外光刻
• 年，卷（期）: 2017,（8）
• 所属期刊栏目: 光学设计与制造
• 页码范围: 280-287
• 页数: 8页
• 分类号: TN305.7
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/AOS201737.0822002

摘要

10 nm以下光刻技术牵引极紫外(EUV)光刻物镜向超高数值孔径(NA)、组合倍率设计形式发展,物镜系统的入射角和入射角范围因此急剧增大,传统规整膜和横向梯度膜难以满足该类物镜系统反射率及像质要求.为此,提出了横纵梯度膜组合法,用横向梯度膜提高反射率,用纵向梯度膜提高反射率均匀性,并补偿横向梯度膜引入的像差.应用该方法对一套NA为0.50的组合倍率EUV光刻物镜进行膜层设计,设计结果表明,在保证系统成像性能不变的情况下,平均每面反射镜的反射率大于60％,各反射镜的反射峰谷值均小于3.5％,满足光刻要求,验证了横纵梯度膜组合法的可行性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李艳秋		57	202	7.0	13.0
2	刘克		15	6	1.0	2.0
3	刘岩		6	6	2.0	2.0
4	刘丽辉		7	3	1.0	1.0
5	沈诗欢		1	0	0.0	0.0
6	姜家华		1	0	0.0	0.0