纳米级Z轴坐标测量系统设计与实验

• 作者: 冯同磊 冯旭刚 张鹏 徐驰 章家岩 费业泰
• 来源期刊: 农业机械学报
• 学科: 工学
• 关键词: 微纳米测量 重力补偿器 扫描静电力显微镜探针系统 双高度法
• 年，卷（期）: 2017,（11）
• 所属期刊栏目: 先进制造技术及基础理论
• 页码范围: 417-422
• 页数: 6页
• 分类号: TH721
• 字数: 3674字
• 语种: 中文
• DOI: 10.6041/j.issn.1000-1298.2017.11.051

摘要

基于最小化阿贝误差的理念,设计了带有重力补偿器的整体结构对称的Z轴测量平台,其次,使用扫面静电力显微镜组成配套的探针系统,最后,对设计的核心内容分两组进行分离测试以验证设计的合理性与有效性.测试首先验证了测量系统分别在静态和动态下重力补偿器的可行性,然后验证经过双高度法补偿后的扫描静电力显微镜探针系统的有效性,实验结果表明,设计的纳米级Z轴坐标测量系统可实现超高精度空间分辨率,具有50 mm的有效行程范围,同时具有对部分非导体的测量能力,使得微纳米测量机的适用范围得到延伸,具有较高的应用价值.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	费业泰	合肥工业大学仪器科学与光电工程学院	222	2927	27.0	41.0
2	章家岩	安徽工业大学电气与信息工程学院	81	314	9.0	14.0
3	张鹏	安徽工业大学机械工程学院	9	49	3.0	7.0
4	冯旭刚	安徽工业大学电气与信息工程学院	46	128	5.0	8.0
5	冯同磊	安徽工业大学电气与信息工程学院	1	1	1.0	1.0
6	徐驰	安徽工业大学电气与信息工程学院	4	7	2.0	2.0