硫化温度-时间曲线对铜锌锡硫薄膜性能的影响

• 作者: 刘思佳 徐信 李琦 杨剑 杨敏 王书荣 蒋志 陆熠磊
• 来源期刊: 人工晶体学报
• 学科: 物理学
• 关键词: CZTS薄膜 太阳电池 磁控溅射 硫化 转换效率
• 年，卷（期）: 2017,（9）
• 页码范围: 1720-1727
• 页数: 8页
• 分类号: O484.1
• 字数: 4829字
• 语种: 中文

摘要

采用溅射法制备含硫预制层,硫化时采用不同的升温速率对经过合金处理的含硫预制层进行退火硫化.通过表征薄膜的表面粗糙度,致密性,均匀性来研究硫化时升温速率对薄膜表面形貌的影响.结果表明当升温速率变慢时,薄膜中的CZTS颗粒逐渐增大,虽然较大的颗粒能减少单位面积内的晶界,但是薄膜的表面粗糙度却随颗粒尺寸的增大而逐渐下降.通过对薄膜的元素组分、晶体结构、相成分进行了检测,确定出薄膜的成分为贫铜富锌的单相锌黄锡矿.再通过测量相应的没有Mo层的CZTS薄膜样品的光电特性来间接的反映拥有Mo层的CZTS薄膜的光电特性.最终制备出结构为SLG/Mo/CZTS/CdS/i-ZnO/AZO/Ni/Al-grid的CZTS薄膜太阳电池,其中转换效率最高的电池为3.60%.