高频等离子固相外沉积工艺参数在线测量系统研究

• 作者: 刘晓光 孙丽丽 秦卫光 邵明强
• 来源期刊: 中国建材科技
• 学科: 物理学
• 关键词: 高频等离子沉积工艺 红外测温 影像测量
• 年，卷（期）: 2017,（3）
• 所属期刊栏目: 实验与研究
• 页码范围: 68-69,87
• 页数: 3页
• 分类号: O539
• 字数: 1978字
• 语种: 中文

摘要

高频等离子固相外沉积工艺工程中沉积温度和沉积量是最为关键的工艺参数,但受到沉积车间温度、强光照和高频信号干扰等不利条件的限制,常规测量方法无法实现精确测量.本文根据工艺特性采用红外测温和影像测量的手段实现工艺过程的在线精确测量,提升了工艺控制精度和石英材料产品品质.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘晓光		6	6	2.0	2.0
2	秦卫光		8	11	2.0	3.0
3	孙丽丽		7	5	2.0	2.0
4	邵明强		4	6	1.0	2.0