多晶硅铸锭炉加热器功率分配对晶体品质的影响

• 作者: 刘磊 孟庆超 杨西西 熊景峰 王全志 甄良欣
• 来源期刊: 铸造技术
• 学科: 工学
• 关键词: 多晶硅 热场 功率分配 晶体品质
• 年，卷（期）: 2017,（9）
• 所属期刊栏目: 工艺技术
• 页码范围: 2212-2214,2221
• 页数: 4页
• 分类号: TN304.1
• 语种: 中文
• DOI: 10.16410/j.issn1000-8365.2017.09.040

摘要

通过计算机仿真模拟方法针对不同的顶侧加热器电阻比值进行建模,研究其对晶体生长过程的影响,结合生产实验来确定最佳电阻比值,与优化过的铸锭工艺进行搭配,最终获得了稳定的较平微凸的固液界面,在长晶过程中能够很好地抑制坩埚侧壁形核,得到垂直的柱状晶结构,并有利于维持优势晶向和随机晶界的比例.此外,本项目通过对顶侧加热器电阻比值的调整,改善了熔体流动模式,有利于杂质向硅锭边部及外部输运,减少了杂质对多晶硅晶体品质的负面影响.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘磊		46	159	6.0	9.0
2	王全志		1	0	0.0	0.0
3	杨西西		1	0	0.0	0.0
4	甄良欣		1	0	0.0	0.0
5	熊景峰		1	0	0.0	0.0
6	孟庆超		1	0	0.0	0.0