大束流离子注入机颗粒改善

• 作者: 杨怡 陈果
• 来源期刊: 自动化博览
• 学科: 工学
• 关键词: 离子注入机 颗粒减少 气体传导率限制缝 锯齿石墨 颗粒源
• 年，卷（期）: 2018,（7）
• 所属期刊栏目: 技术纵横
• 页码范围: 84-87
• 页数: 4页
• 分类号: TN305.3
• 字数: 2809字
• 语种: 中文

摘要

大束流离子注入机是半导体行业中一种十分重要的设备,在生产过程中,影响注入机产品良率和产能的关键因素是颗粒的多少.大束流离子注入机采用靶盘式结构,腔体空间大,腔体内真空度相较于中束流离子注入机低,束流路径大,因此产生颗粒的几率更大.本文先分析了大束流离子注入机颗粒产生的原因,然后提出了气体传导率限制缝和锯齿石墨两种减少颗粒的结构设计,并进行了实验验证,最后给出了颗粒偏高后查找颗粒源的几种方法.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨怡		1	0	0.0	0.0
2	陈果		1	0	0.0	0.0