基于傅立叶变换法的子口径抛光去除函数修正特性分析

• 作者: 邓文辉 郑楠 陈贤华
• 来源期刊: 光电子
• 学科: 工学
• 关键词: 计算机控制光学表面成形技术 子口径抛光 傅里叶变换 去除函数 修正能力 频谱变换
• 年，卷（期）: gdz_2018,（4）
• 页码范围: 192-200
• 页数: 9页
• 分类号: TG5

摘要

光学元件的超精密子口径抛光过程中,仿真加工与实际加工过程不一致将导致收敛出现反复,多次迭代冗余加工反而降低元件表面精度与收敛效率。本文基于傅立叶变化法分析子口径抛光去除函数的修正特性,针对其修正能力提出基于算法的修正补偿,通过在“非线性系统”下建立去除函数的动态补偿仿真模型,使得仿真过程更加符合实际,提高了确定性抛光过程的准确有效性,为超高精度面形误差修正工艺提供了关键技术支撑。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈贤华	中国工程物理研究院激光聚变研究中心	14	83	5.0	9.0
2	邓文辉	中国工程物理研究院激光聚变研究中心	6	8	2.0	2.0
3	郑楠	中国工程物理研究院激光聚变研究中心	3	3	1.0	1.0