基于二维LDV低压流场速度测量的研究

• 作者: 吴宗跃 杨铁牛 赵蕾蕾 邹胜 黄尊地
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 二维激光多普勒测速仪 真空腔室 粒子浓度 背景噪声 流速测量
• 年，卷（期）: 2018,（3）
• 所属期刊栏目: 真空技术与理论
• 页码范围: 169-175
• 页数: 7页
• 分类号: TB75
• 语种: 中文
• DOI: 10.13922/j.cnki.cjovst.2018.03.01

摘要

在半导体制造领域中,IC装备工艺腔室流场的均匀性决定镀膜的质量.本文运用二维激光多普勒测速仪(LDV)对真空腔室进行内流场测量,研究了在不同进气量、不同腔室压强下,腔室各平面流速的分布规律.研究表明,粒子浓度和背景噪声是影响腔室流速测量的两大关键因素,采用四种方法有效地降低了背景噪声对信号的干扰;通过大量实验得出了LDV有效测量腔室流速的压力范围,以及腔室压强、进气量与流速之间的关系;验证了腔室内二级匀气装置具有均匀布气的功能.研究结果能为IC装备的设计提供数据支持.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	黄尊地	五邑大学轨道交通学院	23	37	3.0	4.0