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真空科学与技术学报期刊
出版文献量（篇）
4084
总下载数（次）
3
总被引数（次）
19905

真空科学与技术学报

Chinese Journal of Vacuum Science and Technology
曾用名： 真空科学与技术

CACSCDJSTCSTPCD

影响因子 0.3586
本刊是全国中文核心期刊，长期被EI、CA、SA等国际蓍名检索系统收录，已全文上网。本刊通过中国图书贸易总公司代理向国外发行。目前在美国、英国、德国、荷兰及我国的香港与台湾地区均有订阅，有一定的影响力。在国内各高等院校科学院所涉及到真空科学与技术论文都大多数向本刊投稿，已成为国内外关学者发表高水平科研成果的主要载体。
主办单位：
中国真空学会
ISSN：
1672-7126
CN：
11-5177/TB
出版周期：
月刊
邮编：
100022
地址：
北京市朝阳区建国路93号万达广场9号楼614室
出版文献量（篇）
4084
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3
总被引数（次）
19905
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  • 1. 细长石英管内直流放电等离子体研究
    作者： 刘云辉 张天一 王权 王波
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2018年4期
    页码:  259-263
    摘要： 利用朗缪尔双探针等离子体诊断方法,研究了细长石英管内的低气压直流放电行为,探讨了细长管空间内的放电条件对等离子体参数的影响规律.结果表明:通过提高放电功率和增加阴极数目可以有效的提高等离子体...
  • 2. 工作参数对磁场增强高功率脉冲磁控溅射放电特性的影响
    作者： 孙梦凡 宋炜昱 张旭 李春伟 梁家鹏 田修波 白翔云 赵美君 黄洁
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2018年4期
    页码:  264-271
    摘要： 研究磁场增强高功率脉冲磁控溅射技术的放电特性在不同工作参数下的演变规律.利用数字示波器采集HiP-IMS的基体离子电流用于表征其放电特性的变化.结果表明:靶放电电压不同时基体离子电流对工作气...
  • 3. PCB板静电放电的仿真分析
    作者： 屠彦 杨兰兰 许文婷
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2018年4期
    页码:  272-278
    摘要： 为了研究静电放电对PCB板的影响,建立了PCB板静电放电的三维模型,利用CST微波工作室对PCB板的静电放电进行了仿真,分析了PCB板空间电磁场的分布、表面电流分布及它们随时间的变化情况.仿...
  • 4. 高频宽气隙介质阻挡放电负载特性研究
    作者： 刘平 张旭 李常青 穆昱
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2018年4期
    页码:  279-283
    摘要： 为了研究高频宽气隙条件下介质阻挡放电特性,实现电源和放电管之间的负载匹配.使用频率20～40 kHz连续可调的全桥方波逆变电源作为主电路,采用脉冲宽度调制作为控制策略,利用高频变压器漏感和放...
  • 5. EAST锂化系统的优化及其对等离子体性能的影响
    作者： 孙震 孟献才 左桂忠 徐伟 胡建生 钱玉忠 黄明
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2018年4期
    页码:  284-289
    摘要： 为提高锂膜在先进实验超导托卡马克(EAST)内真空室器壁上的均匀性,从而提高锂膜对再循环的控制,对杂质的抑制能力,优化设计了新型三孔蒸发型坩埚,并成功的用于锂化壁处理实验.实验表明,锂膜在内...
  • 6. 石英晶振真空度检测系统
    作者： 李党娟 林彤 王娜 王顺录
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2018年4期
    页码:  290-295
    摘要： 随着科研及工业的不断发展,对真空环境的要求越来越高,相应的真空测量技术要求也越来越严格,在精准测量的基础上对传感器的体积提出了更高的要求,例如MEMS封装的真空设备将需要较小体积的传感器来完...
  • 7. 基于ANSYS Workbench的薄壁二极铁真空室优化设计
    作者： 刘建龙 李长春 杨伟顺 蒙峻 蔺晓建 谢文君
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2018年4期
    页码:  296-301
    摘要： 薄壁二极铁真空室由于其特殊的作用被应用在HIAF装置的部分位置,由于真空室的壁非常薄,在抽真空状态下易变形,因此对其进行有限元分析明确其在抽真空状态下的应力、变形情况很有必要.本文利用ANS...
  • 8. 基于质谱图特征峰匹配的谱库预检索算法
    作者： 俞建成 张俊良 朱强 黄嵩
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2018年4期
    页码:  302-305
    摘要： 针对目前谱库预检索精度较低且剩余参考谱图依然较多的问题,提出了一种基于质谱图特征峰匹配的谱库预检索算法.将谱图中峰强度最高和质荷比最大的谱峰作为谱图特征峰,然后依次预检索了每个查询谱图和所有...
  • 9. 等离子体增强原子层沉积技术制备铜薄膜
    作者： 刘忠伟 桑利军 樊启鹏 王卉 胡玉莲
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2018年4期
    页码:  306-312
    摘要： 集成电路的高速发展为铜互连提出诸多要求,其中,如何低温条件(≤150℃)下在大深宽比的通孔或沟槽中沉积保形性好、纯度高、导电性好的铜籽晶层是亟需解决的问题.本文利用等离子体增强原子层沉积技术...
  • 10. AZO与ITO薄膜电磁散射特性对比试验研究
    作者： 刘战合 周鹏 姬金祖 王晓璐 王菁 赵辉
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2018年4期
    页码:  313-319
    摘要： 基于非平衡磁控溅射技术在浮法玻璃表面沉积了系列掺铝氧化锌(AZO)和氧化铟锡(ITO)薄膜,从电磁隐身角度出发,确定了两种薄膜的电磁散射测试方法和分析方法,并测试了10、15 GHz的HH、...
  • 11. 多场耦合下铁电薄膜非线性行为的畴变模型
    作者： 周益春 张阳军 王炳琴
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2018年4期
    页码:  320-323
    摘要： 铁电薄膜在外加力场,电场和温度场的作用下表现出明显的非线性,为了更好的描述这种现象,本文提出了一个热-电-力耦合场铁电薄膜下的畴变模型.该模型基于细观力学模型,认为电畴自由能的改变提供电畴翻...
  • 12. 硬质涂层与齿轮钢的摩擦性能研究
    作者： 彭继华 成伟 杜日昇 苏东艺
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2018年4期
    页码:  324-331
    摘要： 采用阴极多弧离子镀在M42工具钢表面制备了Al66 Cr34N和Ti62 Al34Si4N两种硬质涂层,并在室温大气环境下采用球/盘式摩擦磨损仪研究它们同40Cr齿轮钢的摩擦磨损行为.采用表...
  • 13. 锆合金表面磁控溅射制备SiC/Cr复合涂层的研究
    作者： 冯硕 刘艳红 李怀林 王晓婧
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2018年4期
    页码:  332-338
    摘要： 通过直流磁控溅射方法在锆合金基体表面沉积Cr涂层,再在Cr层上射频磁控溅射制备SiC涂层,探索了基体预处理方式、射频溅射功率对涂层结合力、厚度和表面质量的影响.采用扫描电镜及能谱仪,红外光谱...
  • 14. CdxZn1-xSeyS1-y量子点/PVDF纳米复合薄膜的制备与性能研究
    作者： 刘佳慧 张余祥 杨尊先 郑康 郭太良
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2018年4期
    页码:  339-344
    摘要： 以聚偏氟乙烯(PVDF)作为CdxZn1-xSeyS1-y量子点微封装材料,利用简易刮涂法工艺成功制备出大面积、高稳定性的CdxZn1-xSeyS1-y量子点/PVDF纳米复合薄膜,同时对该...
  • 15. 富氮N2/CH4/H2体系中金刚石纳米线的制备研究
    作者： 龚耀庭
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2018年4期
    页码:  345-351
    摘要： 使用微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)法在富氮N2/CH4/H2体系中纳米金刚石膜沉积进行研究.使用扫描电子显微镜对纳米金刚石膜的表面形貌进行测试,使用光射线光电子能谱(XPS)和拉曼光...
  • 16. 《真空科学与技术学报》征稿说明
    作者：
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2018年4期
    页码:  后插1
    摘要：

真空科学与技术学报基本信息

刊名 真空科学与技术学报 主编 吴锦雷
曾用名 真空科学与技术
主办单位 中国真空学会  主管单位 中国科学技术协会
出版周期 月刊 语种
chi
ISSN 1672-7126 CN 11-5177/TB
邮编 100022 电子邮箱 vst@chinesevacuum.com
电话 010-58206280 网址
地址 北京市朝阳区建国路93号万达广场9号楼614室

真空科学与技术学报统计分析

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