扩散退火一体化上下料机构设计

• 作者: 卫晓冲
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: 石英舟 扩散退火一体化 上下料
• 年，卷（期）: 2018,（2）
• 所属期刊栏目: 电子专用设备研究
• 页码范围: 50-52
• 页数: 3页
• 分类号: TH132
• 字数: 1994字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-4507.2018.02.012

摘要

通过介绍石英舟载体的独特性,提出了其上下料机的设计要点,介绍了该上下料机的技术参数和工艺流程,详细分析了设备的各部分结构设计,说明了设备的相关配套功能.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	卫晓冲	中国电子科技集团公司第二研究所	4	3	1.0	1.0