安捷伦高频阻抗测试仪表E4982A测控技术应用

• 作者: 唐明津 胡义平 邓长开
• 来源期刊: 电子与封装
• 学科: 工学
• 关键词: E4982A 吉时利2410 阻抗测试
• 年，卷（期）: 2018,（6）
• 所属期刊栏目: 封装、组装与测试
• 页码范围: 8-11
• 页数: 4页
• 分类号: TN307
• 字数: 1302字
• 语种: 中文

摘要

当前半导体车间高频阻抗测试平台大多是多年前由国外设计开发,平台系统老旧落后,测试仪表已停产多年,亟需升级换代.简单介绍了安捷伦最新型的阻抗仪表E4982A与吉时利2410数字电源表以及高频阻抗原理.在Windows 7系统下通过VB编程成功搭建了新的国产化高频阻抗测试平台,并分享了系统关键技术与核心指令代码.经过大量的测试,新的高频阻抗测试平台不仅覆盖原有的功能,同时掌握了相关核心技术,更加适应未来的生产信息化与升级需求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	邓长开		2	3	1.0	1.0
2	唐明津		2	3	1.0	1.0
3	胡义平		2	3	1.0	1.0