基于等离激元热电子效应的光电晶体管制备及其特性

• 作者: 李裕培 王琦龙 翟雨生 陈广甸
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 光电探测 等离激元 热电子 禁带宽度 铟镓锌氧化物
• 年，卷（期）: 2018,（3）
• 所属期刊栏目: 现代应用光学
• 页码范围: 517-522
• 页数: 6页
• 分类号: TN364.3
• 字数: 2849字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/OPE.20182603.0517

摘要

为了解决典型宽禁带半导体光电探测器件的工作波段限制材料禁带宽度的问题,对基于表面等离激元热电子效应的光电晶体管进行了制备和光电性能研究,提出一种采用重掺杂的硅片作为背栅极、二氧化硅(SiO2)氧化层作为绝缘层,且能利用等离激元热电子效应的光电晶体管,有望实现响应光谱的调控.利用热退火方法在绝缘层表面修饰金纳米颗粒,并结合射频溅射、物理掩模和真空热蒸镀的方法实现了热电子效应铟镓锌氧化物(IGZO)光电晶体管.器件的光学和电学性能测试结果表明:修饰金纳米颗粒的光电晶体管在658 nm红光入射下产生明显的光电响应,外加90 V栅极偏压时,光电流提升约为2.2倍.金纳米颗粒修饰的等离激元热电子结构有效调控了该型晶体管的响应光谱范围,不受材料禁带宽度的限制,而且晶体管的背栅调控进一步放大光电流,提高了器件的量子效率.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王琦龙	东南大学电子科学与工程学院信息显示与可视化国际合作实验室	22	143	7.0	10.0
2	翟雨生	东南大学电子科学与工程学院信息显示与可视化国际合作实验室	4	9	3.0	3.0
3	李裕培	东南大学电子科学与工程学院信息显示与可视化国际合作实验室	2	6	2.0	2.0
4	陈广甸	东南大学电子科学与工程学院信息显示与可视化国际合作实验室	1	3	1.0	1.0