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基于等离激元热电子效应的光电晶体管制备及其特性
基于等离激元热电子效应的光电晶体管制备及其特性
作者:
李裕培
王琦龙
翟雨生
陈广甸
基本信息来源于合作网站,原文需代理用户跳转至来源网站获取
光电探测
等离激元
热电子
禁带宽度
铟镓锌氧化物
摘要:
为了解决典型宽禁带半导体光电探测器件的工作波段限制材料禁带宽度的问题,对基于表面等离激元热电子效应的光电晶体管进行了制备和光电性能研究,提出一种采用重掺杂的硅片作为背栅极、二氧化硅(SiO2)氧化层作为绝缘层,且能利用等离激元热电子效应的光电晶体管,有望实现响应光谱的调控.利用热退火方法在绝缘层表面修饰金纳米颗粒,并结合射频溅射、物理掩模和真空热蒸镀的方法实现了热电子效应铟镓锌氧化物(IGZO)光电晶体管.器件的光学和电学性能测试结果表明:修饰金纳米颗粒的光电晶体管在658 nm红光入射下产生明显的光电响应,外加90 V栅极偏压时,光电流提升约为2.2倍.金纳米颗粒修饰的等离激元热电子结构有效调控了该型晶体管的响应光谱范围,不受材料禁带宽度的限制,而且晶体管的背栅调控进一步放大光电流,提高了器件的量子效率.
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内容分析
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关键词热度
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文献信息
篇名
基于等离激元热电子效应的光电晶体管制备及其特性
来源期刊
光学精密工程
学科
工学
关键词
光电探测
等离激元
热电子
禁带宽度
铟镓锌氧化物
年,卷(期)
2018,(3)
所属期刊栏目
现代应用光学
研究方向
页码范围
517-522
页数
6页
分类号
TN364.3
字数
2849字
语种
中文
DOI
10.3788/OPE.20182603.0517
五维指标
作者信息
序号
姓名
单位
发文数
被引次数
H指数
G指数
1
王琦龙
东南大学电子科学与工程学院信息显示与可视化国际合作实验室
22
143
7.0
10.0
2
翟雨生
东南大学电子科学与工程学院信息显示与可视化国际合作实验室
4
9
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3.0
3
李裕培
东南大学电子科学与工程学院信息显示与可视化国际合作实验室
2
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4
陈广甸
东南大学电子科学与工程学院信息显示与可视化国际合作实验室
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研究主题发展历程
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光电探测
等离激元
热电子
禁带宽度
铟镓锌氧化物
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研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
光学精密工程
主办单位:
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
中国仪器仪表学会
出版周期:
月刊
ISSN:
1004-924X
CN:
22-1198/TH
开本:
大16开
出版地:
长春市东南湖大路3888号
邮发代号:
12-166
创刊时间:
1959
语种:
chi
出版文献量(篇)
6867
总下载数(次)
10
总被引数(次)
98767
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