InP单晶材料性能及制备方法

• 作者: 张伟才 杨静 韩焕鹏
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: InP单晶材料 液封直拉法 气压控制直拉法 垂直梯度凝固
• 年，卷（期）: 2018,（4）
• 页码范围: 36-41
• 页数: 6页
• 分类号: TN304.053
• 字数: 3530字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-4507.2018.04.009

摘要

介绍了InP单晶材料的特性、应用方向及制备的主要方法,主要包括液封直拉技术(LEC)、气压控制直拉技术(VCZ/PC-LEC)、垂直梯度凝固技术(VGF)、垂直布里奇曼技术(VB)等.通过对各种生长方法进行对比,指出了各种方法的优势和不足,最后探讨了各类生长方法的应用领域和今后发展方向.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	韩焕鹏	中国电子科技集团公司第四十六研究所	28	43	4.0	5.0
2	杨静	中国电子科技集团公司第四十六研究所	28	39	4.0	5.0
3	张伟才	中国电子科技集团公司第四十六研究所	22	42	4.0	4.0