精细雾化抛光氮化硅陶瓷的抛光液配制参数优化

• 作者: 朱强 李庆忠 高渊魁
• 来源期刊: 材料科学与工程学报
• 学科: 工学
• 关键词: 化学机械抛光 pH值 SiO2磨料 精细雾化 氮化硅陶瓷
• 年，卷（期）: 2018,（2）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 282-285
• 页数: 4页
• 分类号: TQ171.6+84
• 字数: 2007字
• 语种: 中文
• DOI: 10.14136/j.cnki.issn1673-2812.2018.02.022

摘要

采用超声精细雾化施液抛光对氮化硅陶瓷基体进行抛光,研究了不同的pH值、磨料浓度以及氧化剂含量对氮化硅陶瓷基体抛光的材料去除率的影响,优化了pH值、磨料浓度及氧化剂含量,并与传统的化学机械抛光进行了对比.结果表明:当二氧化硅磨粒质量分数为5w t%,氧化剂含量为1w t%, pH值为8时,材料去除率MRR为108.24nm/min且表面粗糙度Ra为3.39nm.在相同的抛光参数下,传统化学机械抛光的材料去除率 MRR为125nm/min,表面粗糙度Ra为2.13nm;精细雾化抛光的材料去除率及表面粗糙度与传统抛光接近,但精细雾化抛光所用抛光液用量仅为传统抛光所用抛光液用量的1/9.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李庆忠	江南大学机械工程学院	47	113	5.0	6.0
2	朱强	江南大学机械工程学院	4	5	1.0	2.0
3	高渊魁	江南大学机械工程学院	3	4	1.0	2.0