平面子孔径拼接干涉测量精度分析

• 作者: 卢云君 唐锋 王向朝 郭福东
• 来源期刊: 中国激光
• 学科: 物理学
• 关键词: 测量 平面子孔径拼接 拼接精度 拼接算法 累积误差
• 年，卷（期）: 2018,（4）
• 所属期刊栏目: 测量与计量
• 页码范围: 200-209
• 页数: 10页
• 分类号: O436.1
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/CJL201845.0404002

摘要

如何提高子孔径拼接干涉测量精度是子孔径拼接系统的关键问题.针对一维平面子孔径拼接系统,分别采用两两拼接算法和误差均化拼接算法,进行拼接位移台定位误差、参考面面形误差和随机噪声对拼接精度影响的数值仿真与分析.仿真结果表明,对于平面拼接系统,参考面高阶误差、随机噪声对拼接精度影响较小,高阶误差的影响略大于随机噪声的影响;参考面低阶误差(二阶项误差)在拼接过程中会累积放大,是平面拼接干涉测量的主要误差来源,误差均化拼接算法不能有效控制参考面低阶误差的拼接累积误差;两两拼接算法与误差均化拼接算法得到基本相同的拼接结果.对450 mmX60 mm的平面镜进行了15个子孔径的拼接测量,去除参考面低阶误差面形前后,拼接结果与大口径干涉仪的测量结果偏差从λ/3[峰谷值(PV),λ =632.8 nm]减小至λ/45(PV).

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王向朝	中国科学院上海光学精密机械研究所	170	1628	23.0	35.0
2	唐锋	中国科学院上海光学精密机械研究所	19	47	4.0	6.0
3	卢云君	中国科学院上海光学精密机械研究所	11	51	3.0	7.0
4	郭福东	中国科学院上海光学精密机械研究所	6	4	1.0	2.0