自制集成皮拉尼真空传感器系统在半导体加工设备中的应用

• 作者: 汪家奇
• 来源期刊: 实验技术与管理
• 学科: 工学
• 关键词: 半导体加工设备 真空传感器 皮拉尼传感器
• 年，卷（期）: 2018,（1）
• 所属期刊栏目: 仪器设备研制与应用
• 页码范围: 92-94,103
• 页数: 4页
• 分类号: TB77|TN407
• 字数: 1747字
• 语种: 中文
• DOI: 10.16791/j.cnki.sjg.2018.01.022

摘要

为打破国外的技术垄断,研发了一款能够敏感105~10-1Pa的皮拉尼真空传感器,该传感器利用CMOS工艺加工,在同一个硅片上集成了传感器单元、采集电路、信号处理电路及数字接口电路,构成与CMOS工艺兼容的集成皮拉尼真空检测系统,可直接用于半导体设备腔室中真空度的测量.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	汪家奇	大连理工大学微电子学院	10	24	3.0	4.0