石墨烯薄膜的电迁移损伤演化模拟

• 作者: 常玉凤 惠治鑫
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 电迁移 石墨烯 损伤 失效 分子动力学 电子风
• 年，卷（期）: 2018,（8）
• 所属期刊栏目: 纳米技术
• 页码范围: 730-738
• 页数: 9页
• 分类号: O347
• 语种: 中文
• DOI: 10.13922/j.cnki.cjovst.2018.08.14

摘要

石墨烯因其优异的电学性能,被期望成为下一代微电子器件领域中的重要材料.然而电迁移引起的孔洞或丘凸等损伤始终是威胁微电子器件可靠性的因素,因此研究石墨烯薄膜的电迁移损伤及失效变得尤为重要.我们在对石墨烯薄膜的应力迁移和热迁移问题研究的基础上开展了其电迁移损伤演化及失效的研究.本文将采用分子动力学方法,结合Tersoff势函数和速度形式的Verlet算法建立了单层石墨烯薄膜承载过程的理论模型,并对其有效性进行了验证,并模拟记录了石墨烯薄膜的电迁移损伤演化过程及失效特征.通过理论与数值模拟相结合的研究,进一步揭示了石墨烯薄膜电迁移损伤的演化规律与趋势,为微电子器件的设计和优化提供理论和技术参考.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	惠治鑫	宁夏师范学院物理与电子信息工程学院	19	31	3.0	5.0
5	常玉凤		1	0	0.0	0.0