硅基狭缝脊形波导的几何尺寸对光场分布的影响

• 作者: 余金中 刘若男 吴次南 唐波 张鹏 李彬 李志华
• 来源期刊: 电子科技
• 学科: 工学
• 关键词: 脊形波导 光场分布 光功率 狭缝 时域有限差分 尺寸
• 年，卷（期）: 2018,（4）
• 页码范围: 55-59
• 页数: 5页
• 分类号: TN364
• 字数: 2177字
• 语种: 中文
• DOI: 10.16180/j.cnki.issn1007-7820.2018.04.015

摘要

文中采用时域有限差分模拟的方法,研究了狭缝脊形波导中狭缝的宽度、狭缝两侧波导的宽度以及狭缝的深度对狭缝脊形波导光场分布的影响.在狭缝脊型波导中,随着狭缝宽度的增加,其归一化光功率先增大后减小;同样,光功率随着狭缝两侧波导的增加也呈现出先增加后减小的现象;随着狭缝刻蚀深度的增加,归一化光功率是逐渐增大的.通过比较狭缝中归一化光功率的值,将其影响量化,进一步找到最合适狭缝脊形波导的几何尺寸.实验结果表明,当狭缝的宽度为40 nm,两侧波导的宽度为220 nm,狭缝刻蚀深度为220 nm时,归一化光功率达到最大值为13.54％.该仿真结果有助于优化狭缝脊形波导与调制器制造和集成.