基于白光干涉频域分析的高精度表面形貌测量

• 作者: 周毅 唐燕 杨勇 胡松 邓钦元
• 来源期刊: 中国激光
• 学科: 工学
• 关键词: 测量 空间频域 白光干涉 2π模糊 相干信息 相位突变
• 年，卷（期）: 2018,（6）
• 所属期刊栏目: 测量与计量
• 页码范围: 106-112
• 页数: 7页
• 分类号: TH741
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/CJL201845.0604001

摘要

提出了一种基于空间频域分析的白光干涉测量算法,该算法通过消除相位信息中的2π模糊来实现高精度的表面形貌测量.在频域分析中可以同时提取样品的相干形貌和相位形貌.相干形貌虽然不受2π模糊的影响,但是包含测量误差,精度较低.相位形貌虽然能够实现较高精度的表面形貌测量,但存在2π模糊问题.因此采用相干信息与相位信息相结合的方式来消除相位信息中的2π模糊.此外,针对由背景噪声和光源扰动所引起的局部相位突变,提出了相邻像素点差分分析方法,有效消除了局部相位突变,从而提高了测量的稳定性.该方法不需要复杂的计算,工作效率较高.分别从理论和实验两个方面进行分析,以验证提出方法的有效性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨勇	中国科学院光电技术研究所	101	942	20.0	27.0
2	周毅	中国科学院光电技术研究所	166	1687	23.0	36.0
3	胡松	中国科学院光电技术研究所	93	705	12.0	24.0
4	邓钦元	中国科学院光电技术研究所	2	0	0.0	0.0
5	唐燕	中国科学院光电技术研究所	10	1	1.0	1.0