大气压等离子体射流装置及应用研究进展

• 作者: 万树德 侯吉磊 冯绅绅 孟月东 宁付鹏 尤江 方应翠 李文浩 田朝 白超
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 大气压等离子体 等离子体射流 介质阻挡放电 电极结构 纳米薄膜沉积
• 年，卷（期）: 2018,（8）
• 所属期刊栏目: 等离子体技术
• 页码范围: 695-707
• 页数: 13页
• 分类号: TN136|O539
• 语种: 中文
• DOI: 10.13922/j.cnki.cjovst.2018.08.09

摘要

大气压等离子体射流(APPJ)能够在开放空间而不是在狭窄放电间隙中产生高活性非平衡低温等离子体,APPJ已经成为国际上等离子体科学与技术领域的研究热点之一.本文首先介绍了4种典型的等离子体射流装置,包括单针、针-环、单双环以及微腔结构,并分析了各自的结构特点.然后介绍了APPJ近几年的研究进展,包括射流装置结构、活性粒子探测方法、射流与外界物质相互作用及应用等方面.最后对APPJ面临的一些关键问题和发展方向进行了展望.