微纳加工的二轴快刀伺服器拓朴结构优化设计

• 作者: 周欢伟 邱玉良 陈新度
• 来源期刊: 机电工程技术
• 学科: 工学
• 关键词: 快刀伺服器 二轴 柔性铰链 大位移 优化
• 年，卷（期）: 2018,（7）
• 所属期刊栏目: 研究与开发
• 页码范围: 1-4
• 页数: 4页
• 分类号: TG502
• 字数: 2175字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1009-9492.2018.07.001

摘要

背光板微阵列结构的自由曲面加工工艺较为复杂,目前加工策略较多,快刀伺服器加工是其中的策略之一,但利用压电陶瓷驱动快刀伺服器存在加工频率高与加工行程短的矛盾.分析了快刀伺服器的研究现状,建立二轴的快刀伺服器的结构,重点介绍了实现二维运动的方法,提出构建快刀伺服器在高频运动时获得大位移的拓朴结构实现方法,借助ANSYS分别从柔性铰链的材料、宽度、厚度等关键角度,不断优化其拓朴结构,获得适用于微纳加工的二轴的快刀伺服器,更加满足加工微阵列结构的自由曲面加工.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈新度		163	1019	15.0	22.0
2	周欢伟		33	39	3.0	4.0
11	邱玉良		4	5	1.0	2.0