化学气相沉积法制备石墨烯过程的数值模拟研究

• 作者: 李阳 王飞 赵世龙
• 来源期刊: 化工新型材料
• 关键词: 化学气相沉积 石墨烯 数值模拟
• 年，卷（期）: 2018,（12）
• 所属期刊栏目: 科学研究
• 页码范围: 178-181
• 页数: 4页
• 语种: 中文

摘要

采用流体力学软件CFD对化学气相沉积法制备石墨烯过程进行数值模拟,分别研究了低压(83Pa)和常压(101325Pa)条件下反应炉内温度、压强、速度分布及石墨烯沉积情况.研究结果表明,常压下反应炉加热区压强分布不均匀,气体流动较为紊乱,容易对反应造成影响,同时由于常压下气流的紊乱使得加热区内温度分布不均匀,不利于石墨烯的表面沉积;相反在低压工况下,加热区内压力、甲烷气体流速、温度分布均匀,从而保证了整个反应的平稳进行.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王飞		33	85	4.0	7.0
2	李阳		11	18	3.0	3.0
3	赵世龙		1	0	0.0	0.0