RF微谐振器研究进展

• 作者: 杨亮 郑升灵
• 来源期刊: 数字技术与应用
• 学科: 工学
• 关键词: 压电 体声波 轮廓模式 MEMS微谐振器
• 年，卷（期）: 2018,（6）
• 所属期刊栏目: 应用研究
• 页码范围: 50-51,53
• 页数: 3页
• 分类号: TP211
• 字数: 2858字
• 语种: 中文
• DOI: 10.19695/j.cnki.cn12-1369.2018.06.30

摘要

基于MEMS工艺的AlN压电轮廓模式体波微谐振技术,结构和工艺类似FBAR,但具有频率范围更宽、更高的Q值、体积更小的特点.本文就对该微谐振器国内外发展现状、原理及结构特点、应用前景进行了综合性阐述,并对技术发展遇到的挑战性进行了分析.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	郑升灵	中国电子科技集团公司第十三研究所十六专业部	9	35	3.0	5.0
2	杨亮	中国电子科技集团公司第十三研究所十六专业部	14	21	3.0	4.0