一种扭转谐振式MEMS电场传感器

• 作者: 任仁 储昭志 凌必赟 夏善红 张洲威 彭春荣
• 来源期刊: 传感器与微系统
• 学科: 工学
• 关键词: 微机电系统(MEMS) 电场传感器 扭转谐振
• 年，卷（期）: 2019,（6）
• 所属期刊栏目: 设计与制造
• 页码范围: 83-85,88
• 页数: 4页
• 分类号: TP212.1
• 字数: 2693字
• 语种: 中文
• DOI: 10.13873/J.1000-9787(2019)06-0083-03

摘要

提出了一种基于微机电系统(MEMS)的扭转谐振式电场传感器.该微型电场传感器的感应电极与屏蔽电极采用共面叉指结构,首次采用扭转谐振的工作方式,显著提高了微型电场传感器的灵敏度.介绍了传感器的工作原理、结构设计、有限元仿真及实验.实验结果表明:在0～50 kV/m电场范围内,该传感器的线性度为0.14％,3个往返行程的总不确定度优于0.43％.在增益电阻为100 MΩ 的情况下,传感器灵敏度达到4.55 mV/(kV/m),相对已有传感器灵敏度提高了1个数量级.