高线速下碳化硅单晶的快速平坦化切割

• 作者: 徐伟 王英民 靳霄曦 魏汝省
• 来源期刊: 超硬材料工程
• 学科: 工学
• 关键词: 金刚石线 多线切割 碳化硅单晶 高线速度
• 年，卷（期）: 2019,（1）
• 所属期刊栏目: 研究和应用
• 页码范围: 30-33
• 页数: 4页
• 分类号: TQ164
• 字数: 2364字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1673-1433.2019.01.006

摘要

碳化硅单晶材料硬度很高,用传统的切片方式难以加工、效率低下,多线切割是加工硬脆材料的有效方式,文章通过使用电镀金刚石线多线切割设备,进行了高线速度条件下快速碳化硅单晶平坦化切片实验.为提高碳化硅切割效率,通过提高金刚石线速度,成功实现了用5.5小时进行4英寸碳化硅晶锭的切割,并将切割6英寸晶锭时间缩短至12小时左右.同时,为减小切割片翘曲度,进行了4英寸和6英寸碳化硅晶锭的切割试验,证明切割线速度直接影响切割片的翘曲度:随着线速度增大,晶片翘曲度减小.最后,研究了线速度和金刚石浓度对切割片表面的影响,发现提高线速度和使用高金刚石浓度的金刚石线都可使切割导致的损伤层减小.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	徐伟	中国电子科技集团公司第二研究所	50	146	6.0	9.0
2	王英民	中国电子科技集团公司第二研究所	18	53	5.0	6.0
3	靳霄曦	中国电子科技集团公司第二研究所	2	2	1.0	1.0
4	魏汝省	中国电子科技集团公司第二研究所	6	5	2.0	2.0