高精度光学MEMS加速度计研究现状及发展

• 作者: 姚远 潘德彬
• 来源期刊: 光学与光电技术
• 学科: 工学
• 关键词: 光电检测 微光机电 加速度计 高精度 惯性领域
• 年，卷（期）: 2019,（6）
• 所属期刊栏目: 材料与器件
• 页码范围: 91-97
• 页数: 7页
• 分类号: TH824+.4
• 语种: 中文

摘要

采用了光学检测技术和MEMS技术的微加速度计,不仅具有MEMS加速度计体积小、功耗低、可靠性高等优点,同时具备光学测量的抗电磁干扰和高精度的优势,是未来高精度加速度计的发展方向.分析了微光机电(MOEMS)加速度计的原理和结构特点,总结了MOEMS加速度计的主流分类和发展趋势.具体分析了光纤布拉格光栅式,法布里-珀罗干涉式、光子晶体纳米腔式以及光栅干涉衍射式加速度计的原理及目前达到的精度指标.对这几种微光机电加速度计的技术特点和主要指标进行了比较,并初步探讨了用于惯性领域中的MOEMS加速度计的发展方向和应用前景.