磷原子在金刚石(001)表面吸附和迁移的第一性原理研究

• 作者: 刘学杰 曹晔
• 来源期刊: 内蒙古科技大学学报
• 学科: 化学
• 关键词: 第一性原理 磷掺杂金刚石 迁移激活能 吸附和迁移
• 年，卷（期）: 2019,（2）
• 页码范围: 131-138
• 页数: 8页
• 分类号: O647.3
• 字数: 5119字
• 语种: 中文
• DOI: 10.16559/j.cnki.2095-2295.2019.02.007

摘要

采用第一性原理计算方法对磷原子在金刚石(001)表面上的吸附和迁移行为进行了系统研究.结果表明:在全氢终止金刚石(001)表面上,磷原子不能够稳定吸附.当氢终止表面上出现1个、2个活性位时,磷原子可以在活性位处稳定吸附,吸附能为2.8至4.5 eV.分波态密度分析表明:磷原子吸附后,仍然有未成对电子,保持化学活性,有利于后续沉积粒子的吸附.当氢终止表面上出现3个活性位时,磷原子可以在活性位处吸附,并且可以在活性位之间迁移.迁移激活能小于1.7 eV.综上所述,磷原子在金刚石(001)表面上的吸附和迁移行为与表面上活性位的数量和分布密切相关.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘学杰	内蒙古科技大学机械工程学院	57	114	6.0	7.0
2	曹晔	内蒙古科技大学机械工程学院	1	1	1.0	1.0