一种主动隔振系统速度传感器信号控制器设计

• 作者: 李俊丽
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: 主动隔振装置 信号调理 速度传感器 低频扩展
• 年，卷（期）: 2019,（3）
• 所属期刊栏目: 半导体制造工艺与设备
• 页码范围: 20-24
• 页数: 5页
• 分类号: TN305
• 字数: 2347字
• 语种: 中文

摘要

;主动隔振技术比被动隔振技术能够获得更大的隔振带宽及更小的振动传递率,主动隔振器广泛用于IC制造设备和高精密测量设备,其隔振性能直接影响到这些设备的加工或测量精度.速度传感器是主动隔振系统的重要组成部分,影响振动主动控制的精度和带宽.为了实现速度传感器的低频测振功能,采取速度传感器信号调理技术对低频进行拓展,基于滞后校正原理及其幅频特性,设计了速度传感器信号调理器,通过理论计算及仿真分析,有效实现了速度传感器的低频扩展.为超精密主动隔振系统提供了确实可行的速度传感器信号调理解决方案.