微小型MEMS测试标定实验仪伺服系统设计

• 作者: 张鹏 李孟委 李登 李维刚 王树森
• 来源期刊: 中北大学学报（自然科学版）
• 学科: 工学
• 关键词: 稳定平台 实验教学 伺服 双闭环控制 Simulink仿真
• 年，卷（期）: 2019,（5）
• 所属期刊栏目: 电子与电子信息
• 页码范围: 476-480
• 页数: 5页
• 分类号: TP242
• 字数: 2627字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1673-3193.2019.05.017

摘要

以实验教学为使用背景设计了一台多功能微机电系统(Micro-Electro-Mechanical Systems,MEMS)测试标定平台,主要实现平台稳定控制功能和转台测试功能.针对中低精度MEMS惯性器件的测试标定需求,提出了设计的关键技术及指标,分析了陀螺伺服稳定平台原理,从坐标系变化的角度分析了干扰信号的耦合机理,同时解释了稳定平台隔离震动的工作原理.对陀螺稳定平台常用的双闭环控制原理进行建模和Simulink仿真,结果表明所设计的陀螺稳定平台伺服系统的控制策略能满足陀螺稳定平台控制需求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张鹏	中北大学电子测试技术国家重点实验室	112	218	8.0	11.0
2	李孟委	中北大学电子测试技术国家重点实验室	30	75	5.0	7.0
6	李维刚	中北大学电子测试技术国家重点实验室	3	0	0.0	0.0
7	王树森	中北大学电子测试技术国家重点实验室	2	0	0.0	0.0
8	李登	中北大学电子测试技术国家重点实验室	2	0	0.0	0.0