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摘要:
用铁粉在无流动氢气气氛下催化刻蚀金刚石.用扫描电子显微镜(SEM)、激光探针分析仪以及X射线衍射仪表征其表面形貌、刻蚀坑深度和刻蚀后金刚石的结构和成分,同时对金刚石的刻蚀行为进行分析.结果表明:在无氢气气氛下,铁粉通过其催化作用刻蚀金刚石晶体;刻蚀主要在金刚石的{111}、{100}面进行,且{100}面的刻蚀速率大于{111}面的,其刻蚀机制是通过铁-金刚石间形成Fe-C相实现的;且刻蚀受铁相含量影响,刻蚀后金刚石结构不变.
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文献信息
篇名 无氢气氛下铁对金刚石的刻蚀
来源期刊 金刚石与磨料磨具工程 学科 工学
关键词 金刚石刻蚀 Fe-C 各向异性
年,卷(期) 2019,(5) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 13-15
页数 3页 分类号 TQ164
字数 2064字 语种 中文
DOI 10.13394/j.cnki.jgszz.2019.5.0003
五维指标
作者信息
序号 姓名 单位 发文数 被引次数 H指数 G指数
1 邵增明 2 0 0.0 0.0
2 苏彦宾 1 0 0.0 0.0
3 张存升 1 0 0.0 0.0
4 武瑞阁 1 0 0.0 0.0
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研究主题发展历程
节点文献
金刚石刻蚀
Fe-C
各向异性
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
金刚石与磨料磨具工程
双月刊
1006-852X
41-1243/TG
16开
郑州市高新区梧桐街121号
36-34
1970
chi
出版文献量(篇)
2468
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