MnO2对金刚石单晶的刻蚀研究

• 作者: 栗正新 肖长江 陈怡光
• 来源期刊: 金刚石与磨料磨具工程
• 学科: 工学
• 关键词: 金刚石单晶 表面刻蚀 二氧化锰
• 年，卷（期）: 2019,（5）
• 页码范围: 1-6
• 页数: 6页
• 分类号: TG732|TQ164
• 字数: 2191字
• 语种: 中文
• DOI: 10.13394/j.cnki.jgszz.2019.5.0001

摘要

在不同温度下,将金刚石在空气中单独刻蚀或与MnO 2混在一起刻蚀,用表面形貌、刻蚀面积和单颗粒抗压强度来表征单晶表面刻蚀程度.结果表明:MnO 2和空气都能刻蚀人造金刚石单晶表面,且随刻蚀温度升高刻蚀加剧.在相同刻蚀温度下,用MnO 2刻蚀时,单晶的{111}面比{100}面刻蚀严重;而在空气中,其{100}面比{111}面刻蚀严重.金刚石单晶刻蚀后其{100}面易形成四边形坑,{111}面易形成金字塔形刻蚀坑.且MnO 2刻蚀剂能够对金刚石表面刻蚀起促进作用,使刻蚀面积增大和最大刻蚀速率对应的温度降低,导致金刚石单颗粒抗压强度大幅下降.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	肖长江	河南工业大学材料科学与工程学院	64	211	7.0	11.0
2	栗正新	河南工业大学材料科学与工程学院	73	239	7.0	10.0
3	陈怡光		1	0	0.0	0.0