EtherCAT总线结晶炉自动线控制系统设计

• 作者: 何永平 周水清 赵瓛 陈庆广
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: EtherCAT总线 结晶炉 自动线 机器人
• 年，卷（期）: 2019,（4）
• 所属期刊栏目: 半导体制造工艺与设备
• 页码范围: 21-24
• 页数: 4页
• 分类号: TN305
• 字数: 1579字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-4507.2019.04.006

摘要

阐述了一种基于EtherCAT总线的结晶炉自动化系统.主要讨论了系统的硬件组成,并详细分析了EtherCAT工业以太网通讯技术的通讯原理及工作特点.在软件层上给出了系统模块功能及其模块的工作流程图,并给出了关键模块的设计代码.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	赵瓛	中国电子科技集团公司第四十八研究所	6	4	1.0	2.0
2	周水清	中国电子科技集团公司第四十八研究所	4	3	1.0	1.0
3	陈庆广	中国电子科技集团公司第四十八研究所	4	2	1.0	1.0
4	何永平	中国电子科技集团公司第四十八研究所	3	0	0.0	0.0