MEMS惯性器件典型参数测试技术研究?

• 作者: 刘路扬 吕乐 吕兵 杨景阳 陈波
• 来源期刊: 计算机与数字工程
• 学科: 航空航天
• 关键词: MEMS PXI 测试
• 年，卷（期）: 2019,（1）
• 所属期刊栏目: 专栏·微电子计量测试
• 页码范围: 33-36,44
• 页数: 5页
• 分类号: V241.5
• 字数: 3466字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-9722.2019.01.009

摘要

论文介绍了MEMS的概念及典型MEMS器件的基本工作原理,选取了某款MEMS陀螺器件作为测试研究对象,分析了其测试参数,按照参数的特性对各个参数进行了分类,并研究了器件的典型参数性的测试方法.此外,论文提出了一种基于NI的PXI的MEMS陀螺器件测试平台,借助双轴速率转台、振动台以及温箱搭建了MEMS陀螺器件测试系统的硬件平台,对硬件平台的硬件选型进行了阐述.系统的软件部分采用LabVIEW语言编写,采用了模块化的思路对控制软件进行了模块划分,并对系统的测试软件部分的设计要点进行了论述.