直线电机在半导体设备中的典型应用分析

• 作者: 张永昌 石艺楠 谭立杰 赵立华 黄卫国
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: 直线电机 半导体设备 原理 应用分析
• 年，卷（期）: 2019,（2）
• 所属期刊栏目: 半导体制造工艺与设备
• 页码范围: 16-19
• 页数: 4页
• 分类号: TP23
• 字数: 1848字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-4507.2019.02.005

摘要

随着直线电机理论和产业的逐渐成熟,其在半导体设备中的应用也越来越广泛;两种典型结构直线电机,即U型电机、平板电机,具有结构简单、高响应特性和高精度等特点,从设计选型、抗干扰和精度控制等几方面举例分析.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	黄卫国	中国电子科技集团公司第四十五研究所	3	1	1.0	1.0
2	赵立华	中国电子科技集团公司第四十五研究所	9	8	2.0	2.0
3	谭立杰	中国电子科技集团公司第四十五研究所	11	20	3.0	4.0
4	石艺楠	中国电子科技集团公司第四十五研究所	2	3	1.0	1.0
5	张永昌	中国电子科技集团公司第四十五研究所	3	2	1.0	1.0