光网络中分光探测器薄膜的研制

• 作者: 张于帅 张功 毕君 王丽荣 石澎
• 来源期刊: 量子电子学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 薄膜光学 分光探测器薄膜 虚设层 分光比
• 年，卷（期）: 2019,（3）
• 所属期刊栏目: 光通信
• 页码范围: 360-365
• 页数: 6页
• 分类号: O484
• 字数: 2774字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1007-5461.2019.03.017

摘要

光通讯网络监控系统中的分光探测器用于检测光信号的流量,在通信和信号检测领域具有非常广泛的应用.为满足器件使用需求,采用离子束辅助沉积(Ion beam aided deposit,IBAD)技术,对在1260～1620 nm波长范围内透射、反射能量分光比为50∶50的分光探测器薄膜进行了研制.主要分析并解决了镀膜材料光学常数计算的问题,通过建立误差函数,优化并降低镀膜材料光学常数计算的误差.在设计分光探测器薄膜时,通过增加虚设层来平滑光谱曲线,同时降低膜厚的敏感度,也降低了制备工艺的难度.制备的分光探测器薄膜在1260～1620 nm波长范围内透射、反射分光比小于50∶50(士0.5％),满足分光探测器指标参数要求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	毕君		12	22	2.0	4.0
2	王丽荣	中山火炬职业技术学院光电工程系	26	34	3.0	5.0
3	石澎	中山火炬职业技术学院光电工程系	19	12	2.0	2.0
4	张于帅	长春理工大学光电工程学院	8	8	2.0	2.0
5	张功	长春理工大学光电工程学院	7	6	2.0	2.0