超精密掩模台位置测量系统算法优化

• 作者: 张文涛 徐康 熊显名 王献英
• 来源期刊: 激光杂志
• 学科: 物理学
• 关键词: 平面光栅尺 测量系统 解算误差 迭代误差
• 年，卷（期）: 2019,（11）
• 所属期刊栏目: 光电测量与检测
• 页码范围: 38-41
• 页数: 4页
• 分类号: O436.1
• 语种: 中文
• DOI: 10.14016/j.cnki.jgzz.2019.11.038

摘要

基于掩模台平面光栅尺的位置算法是多元非线性隐函数方程组,针对其解算较困难的问题,工程上常使用迭代法进行数值解算.但随着掩模台扫描速度的提高,迭代法解算会使位置算法引入较大的迭代误差.开展了掩模台位置解算算法对比实验,并设计了位置模型补偿算法.实验结果表明:在10 kHz的采样频率和2.8 m/s的扫描速度条件下,X,Y和Rz的解算误差分别减少到5.877E-1 1m,8.617E-11m和5.316E-11rad及以下.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	熊显名	桂林电子科技大学电子工程与自动化学院	99	367	10.0	14.0
2	张文涛	桂林电子科技大学电子工程与自动化学院	105	506	10.0	18.0