NaOH溶液浓度对激光刻蚀多晶硅片表面织构的影响

• 作者: 宋建宇 肇伟懿 贾子凡
• 来源期刊: 井冈山大学学报（自然科学版）
• 学科: 工学
• 关键词: 表面织构 激光刻蚀 太阳能电池多晶硅片 溶液浓度
• 年，卷（期）: 2019,（2）
• 所属期刊栏目: 工程与材料科学
• 页码范围: 83-86
• 页数: 4页
• 分类号: TN249
• 字数: 2018字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1674-8085.2019.02.015

摘要

利用扫描电镜表征硅片样品的表面形貌,用光谱仪测试硅片的反射率,并且用少子寿命测试系统测试硅片电学性能,研究了在进行多晶硅太阳能电池表面织构过程中NaOH溶液浓度对其的影响,结果表明:NaOH溶液浓度选择10％时,有效清除多晶硅片表面缺陷的同时,硅片表面织构减反射效果显著,并能兼顾硅片电学性能.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	宋建宇	沈阳理工大学理学院	8	6	1.0	2.0
2	肇伟懿	沈阳理工大学理学院	2	1	1.0	1.0
3	贾子凡	沈阳理工大学理学院	2	1	1.0	1.0