强磁场对碱液腐蚀制备多晶硅表面织构的影响

• 作者: 宋建宇 李想 沈龙海 肇伟懿 贾子凡 齐东丽
• 来源期刊: 表面技术
• 学科: 工学
• 关键词: 强磁场 碱液腐蚀 多晶硅 洛伦兹力 表面织构
• 年，卷（期）: 2020,（7）
• 所属期刊栏目: 表面功能化
• 页码范围: 120-125
• 页数: 6页
• 分类号: TM914.4
• 字数: 3010字
• 语种: 中文
• DOI: 10.16490/j.cnki.issn.1001-3660.2020.07.015

摘要

目的 在碱液腐蚀制备多晶硅表面织构过程中施加具有方向性的强磁场,研究强磁场对多晶硅表面织构减反射的影响.方法 在非磁场和1、2、3、4 T磁场作用下,用NaOH溶液腐蚀制备多晶硅表面织构,用电子天平称量表征硅片腐蚀程度,用奥林巴斯LEXT OLS4100共聚焦显微镜观察多晶硅片表面形貌,用Ocean Optics US...

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	沈龙海	沈阳理工大学理学院	23	41	4.0	5.0
2	李想	沈阳理工大学理学院	5	10	2.0	3.0
3	齐东丽	沈阳理工大学理学院	10	11	1.0	3.0
4	宋建宇	沈阳理工大学理学院	8	6	1.0	2.0
5	肇伟懿	沈阳理工大学理学院	2	1	1.0	1.0
6	贾子凡	沈阳理工大学理学院	2	1	1.0	1.0