特大型超高真空排气台的研制

• 作者: 刘春艳 边悦
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 环型正负电子对撞机项目 连续波速调管 特大型超高真空排气台 高温真空烘烤排气
• 年，卷（期）: 2019,（12）
• 所属期刊栏目: 真空技术与理论
• 页码范围: 1079-1082
• 页数: 4页
• 分类号: TB751
• 语种: 中文
• DOI: 10.13922/j.cnki.cjovst.2019.12.06

摘要

为满足中科院高能物理研究所环型正负电子对撞机项目650 MHz/800 kW连续波速调管的超高真空排气需要,北方华创真空研制了由无油干泵和磁悬浮分子泵作为预抽系统,溅射离子泵作为主抽系统的特大型超高真空排气台.设备以温度和真空度作为主要工艺参数,对尺寸达到Φ1600 mm ×S000 mm的连续波速调管进行高温真空烘烤排气,极限真空度优于8.0×10-8 pa;烘烤温度25～600℃连续可调,温区均匀性±5℃,具备充氮快速降温功能,整个工艺过程实现自动化控制.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	边悦		1	0	0.0	0.0
2	刘春艳		1	0	0.0	0.0