直径5英寸CVD金刚石产品厚度达到1mm——河北省激光研究所CVD金刚石制备技术再上新台阶

• 来源期刊: 中国超硬材料
• 学科: 工学
• 关键词: CVD金刚石 国外先进水平 中国科学报 产品厚度 制备技术 激光 河北省 直径
• 年，卷（期）: 2019,（4）
• 页码范围: 58-59
• 页数: 2页
• 分类号: TQ1

摘要

近日,《中国科学报》记者从河北省激光研究所获悉,该所直径5英寸CVD金刚石窗口制备技术再上台阶,其产品厚度达到1 mm,比之前的0.7 mm高出0.3 mm。该所所长孙振路表示,这标志着我国915 MHz、75 rW的微波CVD金刚石设备基本成熟,实现了赶超国外先进水平的目标。