铌酸锂声表面波气体传感器及其谐振频率的研究

• 作者: 曹艳
• 来源期刊: 电声技术
• 学科: 工学
• 关键词: 声表面波 气体传感器 叉指换能器
• 年，卷（期）: 2019,（8）
• 所属期刊栏目: 器件与应用
• 页码范围: 56-59,68
• 页数: 5页
• 分类号: TN712
• 字数: 2641字
• 语种: 中文
• DOI: 10.16311/j.audioe.2019.08.016

摘要

声表面波即沿着弹性固体表面传播的声波,由于声表面波对外界环境极为敏感,广泛用于各类物理量、化学量的测量.声表面波传感器具有高精度、高灵敏度、数字化、易批量生产、体积小、质量轻、功耗低等优势,且可实现无线无源传感,具有广阔的应用前景.文章分析了声表面波器件的结构和设计要点,完成了铌酸锂压电基底声表面波气体传感器的二维建模,并进行了有限元分析,从电极材料、基底高度的角度给出了参数优化方案,为进一步完成器件设计提供了参考.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	曹艳		8	19	1.0	4.0