粘滑式压电驱动平台的复合控制

• 作者: 刘品宽 徐斯强 朱晓博
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 压电驱动 复合控制 微动台 主动阻尼
• 年，卷（期）: 2019,（12）
• 所属期刊栏目: 微纳技术与精密机械
• 页码范围: 2571-2580
• 页数: 10页
• 分类号: TP394.1|TH691.9
• 字数: 4547字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/OPE.20192712.2571

摘要

粘滑式压电驱动平台能实现高精度的大行程运动,它由微动台和滑块组成,而微动台的低阻尼振动限制了粘滑式压电驱动平台的运动速度.为了解决这一问题,提出了一种基于主动阻尼的复合控制策略(PI-DPF-FF).首先,对输入的锯齿波信号进行滤波,使其更平滑.接着,采用时滞位置反馈控制器来主动提高微动台的阻尼,抑制振动.选用跟踪控制器和改进型零相位误差跟踪控制器来减小跟踪误差,提高跟踪带宽.最后,在粘滑式压电驱动平台的样机上对PI-DPF-FF控制器进行了验证.实验结果表明:与常规的比例积分控制器相比,PI-DPF-FF控制器将微动台跟踪带宽由32.7 Hz提高到1466.5 Hz.当系统输入占空比为0.2和频率为100 Hz的信号时,与常规的前馈控制器相比,PI-DPF-FF控制器将滑块角速度由3.52 mrad/s提高到9.03 mrad/s,平台运动速度有了明显的提高.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘品宽	上海交通大学机械与动力工程学院	35	216	7.0	13.0
2	朱晓博	上海交通大学机械与动力工程学院	3	6	1.0	2.0
3	徐斯强	上海交通大学机械与动力工程学院	2	1	1.0	1.0