基于COMSOL的声表面波器件三维结构仿真

• 作者: 张利威 张永威 谭秋林 郭涛
• 来源期刊: 压电与声光
• 学科: 工学
• 关键词: 声表面波传感器 有限元分析 对称模态频率 电极厚度
• 年，卷（期）: 2019,（4）
• 页码范围: 497-500
• 页数: 4页
• 分类号: TN713
• 字数: 2833字
• 语种: 中文
• DOI: 10.11977/j.issn.1004-2474.2019.04.009

摘要

基于铌酸锂基底的声表面波传感器电极材料设计,采用COMSOL Multiphysics仿真分析软件对声表面波传感器单对叉指进行三维建模,并进行固体力学和静电学物理场的有限元仿真分析.结果 表明,不同电极材料和厚度对其反对称模态频率、对称模态频率、导纳特性曲线及阻抗特性曲线的影响较大,且通过改变电极材料的厚度有效抑制寄生谐振为进一步的研究提供了理论依据.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	郭涛	中北大学电子测试技术重点实验室	86	454	11.0	15.0
5	谭秋林	中北大学电子测试技术重点实验室	71	327	10.0	15.0
9	张永威	中北大学电子测试技术重点实验室	3	0	0.0	0.0
13	张利威	中北大学电子测试技术重点实验室	2	0	0.0	0.0