基于利特罗式激光反馈光栅干涉的微位移测量技术

• 作者: 倪小琦 夏巍 孔令雯 施立恒 王鸣 蔡文魁 郝辉 郭冬梅
• 来源期刊: 中国激光
• 学科: 工学
• 关键词: 测量 位移测量 自混合干涉 衍射光栅 利特罗结构 正弦调制
• 年，卷（期）: 2019,（4）
• 所属期刊栏目: 测量与计量
• 页码范围: 216-221
• 页数: 6页
• 分类号: TN249
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/CJL201946.0404012

摘要

通过在激光反馈干涉(LFI)系统中引入衍射光栅,提出了一种基于利特罗结构的激光反馈光栅干涉(LFGI)技术,用于一维和二维精密位移的测量.半导体激光器出射的光束以利特罗条件入射至反射式全息光栅,衍射光沿入射光方向返回激光腔后,腔内会发生激光反馈干涉效应.引入正弦相位调制解调技术,高精度地测量一维和二维微位移.利特罗结构和LFGI系统具有自准直性好、结构紧凑、易于操作和系统稳定性高的优点.实验结果表明,利特罗式LFGI系统的位移测量精度可以达到10 nm量级.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王鸣		91	636	14.0	20.0
2	郝辉		18	110	7.0	10.0
3	夏巍		16	18	2.0	4.0
4	郭冬梅		17	60	4.0	7.0
5	蔡文魁		3	0	0.0	0.0
6	倪小琦		8	32	4.0	5.0
7	孔令雯		2	0	0.0	0.0
8	施立恒		1	0	0.0	0.0