飞秒激光抛光CVD金刚石涂层表面

• 作者: 张遥 李翔 马玉平 魏超
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 飞秒激光 金刚石涂层 粗糙度 致密性
• 年，卷（期）: 2019,（1）
• 所属期刊栏目: 微纳技术与精密机械
• 页码范围: 164-171
• 页数: 8页
• 分类号: TN249
• 字数: 3575字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/OPE.20192701.0164

摘要

为了实现降低金刚石涂层粗糙度的目的,本文研究了飞秒激光功率,重复频率以及扫描速度对金刚石涂层表面粗糙度的影响,试验之后利用白光干涉仪检测抛光区域形貌以及粗糙度.试验结果表明:粗糙度随着功率的降低而减小,当功率降至100mw以下时抛光后的粗糙度会随着功率的降低而略微的提高;重复频率对抛光后的粗糙度无显著影响;粗糙度随扫描速度的增大而减小,当扫描速度增加到1.6mm/s之后,粗糙度会出现略微的升高.在功率100mw,重复频率1KHz,扫描速度1.6mm/s的条件下,得到的粗糙度最低,约为0.14μm,局部区域粗糙度可降至100nm以下,并且抛光的区域相对于未抛光区域更具有致密性,基本上满足金刚石涂层低摩擦表面的要求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	马玉平	安徽建筑大学机械与电气工程学院	17	79	5.0	8.0
2	李翔	安徽建筑大学机械与电气工程学院	9	3	1.0	1.0
3	张遥	安徽建筑大学机械与电气工程学院	5	1	1.0	1.0
4	魏超	安徽建筑大学机械与电气工程学院	4	1	1.0	1.0