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摘要:
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探究吸附装置安装位置对多晶硅除硼磷的影响
多晶硅
氯硅烷
硼、磷杂质
吸附
稳定性
太阳能级多晶硅制备进展
多晶硅
太阳能
制备方法
多晶硅制备工艺及发展趋势
多晶硅
流化床法
冶金法
西门子法
多晶硅生产技术发展方向探讨
多晶硅
改良西门子法
高频电源技术
硅烷法
气液沉积法
内容分析
关键词云
关键词热度
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文献信息
篇名 冶金级多晶硅的除硼专利技术综述
来源期刊 中国科技信息 学科
关键词
年,卷(期) 2019,(5) 所属期刊栏目 专利分析
研究方向 页码范围 17-18,21
页数 3页 分类号
字数 1731字 语种 中文
DOI 10.3969/j.issn.1001-8972.2019.05.002
五维指标
作者信息
序号 姓名 单位 发文数 被引次数 H指数 G指数
1 刘丹 8 2 1.0 1.0
2 张耀文 2 0 0.0 0.0
3 王智华 2 0 0.0 0.0
传播情况
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期刊影响力
中国科技信息
半月刊
1001-8972
11-2739/N
大16开
北京西城区车公庄大街16号1号楼1610室
82-415
1989
chi
出版文献量(篇)
49952
总下载数(次)
82
总被引数(次)
131979
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