晶体生长过程高精度温度控制系统设计

• 作者: 沈正阳 潘丰
• 来源期刊: 机械制造与自动化
• 学科: 工学
• 关键词: 晶体生长 温度控制 顺序控制 系统设计
• 年，卷（期）: 2019,（3）
• 所属期刊栏目: 电气与自动化
• 页码范围: 220-222,228
• 页数: 4页
• 分类号: TP274
• 字数: 2613字
• 语种: 中文
• DOI: 10.19344/j.cnki.issn1671-5276.2019.03.056

摘要

目前晶体生长装置通常采用PLC进行控制,但常规PLC的温度测量精度达不到要求的控制精度.采用PLC和高精度智能温度控制表结合,使生长槽温度精度达到±0.01℃.同时设计顺序降温控制,在规定的时间内,可进行阶段性的降温达到设定的温度.该系统已在实际生产中使用,满足了高品质晶体生长的要求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	潘丰	江南大学轻工过程先进控制教育部重点实验室	203	1133	16.0	23.0
2	沈正阳	江南大学轻工过程先进控制教育部重点实验室	1	0	0.0	0.0