多晶硅产品中碳质量分数的影响因素及控制措施

• 作者: 吴巧芸 安军林 宗冰 曹岩德 曹玲玲 王体虎 蔡延国 马婷 魏东亮
• 来源期刊: 现代化工
• 学科: 工学
• 关键词: 多晶硅 碳质量分数 产品质量
• 年，卷（期）: 2019,（7）
• 所属期刊栏目: 工艺与设备
• 页码范围: 183-184,186
• 页数: 3页
• 分类号: TQ075
• 字数: 1756字
• 语种: 中文
• DOI: 10.16606/j.cnki.issn0253-4320.2019.07.038

摘要

通过对多晶硅各生产工艺过程中碳元素来源、分离提纯、转化分布等情况进行分析,找出控制硅粉中碳质量分数,优化提纯工艺参数等措施来控制氯硅烷中碳质量分数从而控制产品多晶硅中的碳质量分数,同时严格控制氢气中甲烷质量分数也可以降低产品中碳质量分数、提升产品质量.