金属表面磁控溅射TiN涂层制备的实验方法

• 作者: 唐德文 肖魏魏
• 来源期刊: 信息记录材料
• 学科: 工学
• 关键词: 磁控溅射 金属材料 TiN涂层 实验教学
• 年，卷（期）: 2019,（7）
• 所属期刊栏目: 材料:实验与研究
• 页码范围: 18-19
• 页数: 2页
• 分类号: TQ13
• 字数: 1401字
• 语种: 中文

摘要

锆合金由于中子吸收截面小等优点被广泛应用于核电行业.为了进一步提高其耐腐蚀性能和耐高温氧化性能,可采用表面涂层工艺.本文采用磁控溅射工艺在锆合金表面制备TiN涂层,并测试涂层的表面形貌和结合强度,应用于金属表面涂层制备的认知性和延伸性实验教学,使学生在实践中掌握材料表面处理学术前沿知识,培养创新思维,提高分析、解决问题的能力.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	唐德文	南华大学机械工程学院	59	146	7.0	10.0
2	肖魏魏	南华大学机械工程学院	4	2	1.0	1.0