半导体失效分析中样品制备对分析结果的影响

• 作者: 王潇
• 来源期刊: 电脑乐园·信息化教学
• 学科: 社会科学
• 关键词: 半导体芯片 失效分析 样品制备
• 年，卷（期）: 2019,（3）
• 页码范围: 0390-0391
• 页数: 2页
• 分类号: C

摘要

失效分析技术是芯片制造过程中的一个重要的环节。是研究超大规模集成电路芯片失效模式、降低产品失效率和提升产品可靠 性的重要手段。随着现代半导体芯片制造技术从深亚微米时代进入纳米时代,失效分析的面临着巨大的挑战,除了借助更加先进、精确的 分析仪器,样品的制备水准对于提高失效分析的成功率也起到至关重要的作用。本文就半导体器件的失效分析过程中的样品制备对分析结 果的影响进行探讨。

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1	王潇		1	0	0.0	0.0